OLED有机无机蒸发镀膜系统

OLED有机无机蒸发镀膜系统

设备用途

用于生长薄膜太阳能电池,EL OEL分子有机电致发光器件薄膜的研究工作。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。

设备组成

该系统采用直线式结构,主要由二个有机材料生长室组成,两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接,其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口,能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。

技术指标

型号OPVD-450
真空室二个D型真空室,尺寸均约为Φ450×H750;两个真空室的真空系统配置、极限压力、恢复真空时间、热阻蒸发舟及电源、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置、样品台的配置与技术参数指标相同。
真空系统配置日本进口低温泵、无油涡旋干泵与电磁阀、复合数显真空测量规与计、阀门等。
极限压力≤2.0×10-5 Pa
恢复真空时间40分钟可达到1×10-4 Pa
电动磁力耦合样品传递装置真空室1采用磁力耦合line motion传递装置,采用步进电机驱动,设有远程手控控制盒,可控制直线前进后退。
有机蒸发源及电源真空室1新型OEL升华型蒸发源9支,每支蒸料可装10CC,室温—800℃ 7支,室温—1000℃2支;蒸发源电源4台。
真空室2新型OEL升华型蒸发源6支,每支蒸料可装10CC,室温—800℃ 6支;蒸发源电源3台。
热阻蒸发舟及电源新型蒸发舟:2组(热阻蒸发舟);数字式热阻蒸发电源:1台,带有细调功能(0.1安培);镀铝专用盒式蒸发舟:2个;普通金属蒸发舟:10个;蒸发源挡板:2套。
膜厚监测仪厚度分辨率不平均:0.0133埃/测量;50个样品平均:0.002埃/测量
速率分辨率不平均:0.0133埃/秒;50个样品平均:0.02埃/秒
精度0.03HZ/测量,2ppm
速度每秒测量十次
真空室照明装置采用LED外照明方式,避免镀膜污染照明灯
烘烤装置在真空室外烘烤带的烘烤方式
样品台样品尺寸可放置一块100×100mm或者50×50mm基片
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