铜铟镓硒薄膜光伏电池共蒸系统

铜铟镓硒薄膜光伏电池共蒸系统

设备用途

该系统主要用来研制铜铟镓硒光伏薄膜。

设备组成

主要由铜铟镓硒蒸发沉积室、进样室、束源炉、样品磁力传递系统、样品库系统、样品加热机构、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。

技术指标

沉积室尺寸φ650×600mm
进样室尺寸φ250×640mm
分子束源炉铜、铟、镓、硒共四个,尺寸均为φ45×115mm
真空系统配置机械泵、分子泵、闸板阀
极限压力沉积室≤5×10-8Pa(经烘烤除气后)
进样室≤6.6×10-5Pa(经烘烤除气后)
恢复真空时间沉积室40分钟可达5×10-4Pa(短时间暴露大气并充入干燥氮气后开始抽气)
进样室40分钟可达5×10-4Pa(短时间暴露大气并充入干燥氮气后开始抽气)
样品台一片可放入4片,尺寸为φ100mm
温度沉积室室温~800℃,可控可调
进样室室温~500℃,可控可调
分子束源炉(铜)室温~1300℃±1℃,可控可调
分子束源炉(铟)室温~850℃±1℃,可控可调
分子束源炉(镓)室温~1000℃±1℃,可控可调
分子束源炉(硒)室温~350℃±1℃,可控可调
设备占地面积主机4000×2000mm2
电控柜700×700mm2(三个)
可为用户量身定制非标准产品
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